二手 STS / CPX Pegasus #293597735 待售
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單擊可縮放
ID: 293597735
晶圓大小: 8"
優質的: 2006
Etcher, 8"
(2) Chambers
Power Distribution Unit (PDU)
Cluster Tool Controller (CTC) Cabinet
(3) Rotary pumps
(2) Turbo pumps
(3) SMC HRZ-001 Chillers
Process module (PM2, PM3):
Source assembly
Lower assembly
Electrode assembly
External component
Gas box
MKS RF Generator, 6.5 kW
MKS / ENI ACG 3B RF Generator, 13.56 MHz
MKS Baratron gauge, 10^-4 to 10^-1 mTorr
MKS 750 Capacitance, 10-760 Torr
BOC EDWARDS Active gauge, 10^-4 mTorr to 10 Torr
Ceramic ESC
Pumpdown, 500 mTorr
APC Valve open
Load lock pump down, 80 mTorr
Gate valve open
Temperature: ±2° C
Forward power: ±1 % Vibration
Ref power: ±1% Vibration
Gases: SF6, C4F8, O2, N2, Ar
Flow rate (±2 % Vibration):
Gas / MFC
C4F8 / 400 SCCM
SF6 / 1200 SCCM
Ar / 500 SCCM
O2 / 200 SCCM
He / -
Transport module (TM):
MX600 Handler
Vacuum Cassette Elevator (VCE)
Safety node
Tracking optics
Inligner
(4) Coolers and (4) heaters:
House water
SMC HRZ-L2-DY DI Water chiller
SMC HRZL-D Silicon oil chiller
Insert heater
Gas tubes has been replaced
Power supply: 380 V, 60 Hz, 160 A
2006 vintage.
STS/CPX Pegasus是Semflex Group提供的高性能蝕刻器/asher設備,它為各種基材提供了一系列先進的蝕刻和灰化工藝。該系統基於最新的電磁蝕刻和灰化技術，經過設計，為廣泛的蝕刻和灰化應用提供一致、可重復、高質量的結果。STS飛馬單元由一個先進的多站處理機器人、一個蝕刻室、一個ashing爐以及多個先進的控制和監控系統組成。該機器能夠使用多種不同的基材材料，並且可以處理尺寸不超過500毫米的晶片。蝕刻室設計為提供超高密度蝕刻，而灰化爐設計為提供高效、可控、安全的灰化操作。多臂機器人用於在蝕刻室和ashing爐之間轉移晶片。其精密的設計能夠控制晶片自旋，並確保晶片在整個蝕刻過程中的精確排序和定位。機器人還能夠識別、加載和卸載晶片，並且可以控制各種附加過程，如晶片清洗、定向和對準。該工具具有一系列安保和安全功能，包括先進的溫度控制系統、空氣和氣體流動保護以及監測和安全聯鎖。這些功能有助於最大限度地減少蝕刻操作過程中的任何潛在風險,並為操作員提供安全的體驗。CPX飛馬資產還旨在最大限度地提高其內部加工晶片的質量和完整性，同時提供極大的靈活性和過程控制。憑借其創新的納米技術和先進的控制系統，該模型在蝕刻和灰化時提供了前所未有的精度和可重復性。所有這些功能,加上設備的多功能性,使其成為各種應用程序表面的蝕刻和灰化過程的理想解決方案。
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