二手 STS Pro ICP #9222701 待售

STS Pro ICP（感應耦合等離子體）蝕刻器/asher是一種專門用於微電子工業的先進蝕刻設備。它被用於集成電路和顯示面板的制造過程，以及其他納米技術應用。高精度蝕刻系統旨在在包括聚酰亞胺在內的一系列材料上提供極其精確的結果。結果中,Pro ICP主要依賴於等離子體蝕刻過程。該單元的主要部件包括等離子體發生器、射頻電源、等離子體腔、負載鎖室以及支撐硬件。等離子體發生器使用真空渦輪分子泵，通過誘導反應性氣體分子中的電流產生等離子體。這會產生自由基、離子、原子和通電粒子，允許蝕刻過程和改善鍵合後的表面粘附。為了加工底物，機器利用了被加熱到高溫的氙氣，以激活產生等離子體所需的射頻功率。在等離子體室內，受影響的氣體被冷卻並凝結到所需的程度。根據所加工材料的不同,通過熱控制工具可實現150°至700 °C （302°-1290 °F）的高度可控溫度,從而在高性能材料的蝕刻過程中提供完全的熱靈活性和控制。STS Pro ICP資產還配備了強大而精確的壓力控制，允許精確控制負載鎖、清洗系統和幹泵。這提供了通用和專用的控制,同時保持最高級別的安全。此外，該模型還具有真空預覽掃描電子顯微鏡，用於工藝驗證。Pro ICP是微電子應用精密、可重復蝕刻工藝的完美解決方案。它提供了良好的工藝控制，以確保各種材料的均勻蝕刻。該設備的精確特性和可靠的結果使其非常適合在高需求應用中使用。