二手 STS Pro ICP #9294114 待售
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ID: 9294114
晶圓大小: 8"
Etcher, 8"
(2) Load ports, 8" (Can process 25 wafers)
Operating system: Windows
Vacuum load lock:
Carousel load lock, 8" (Can process 2 wafers)
Chamber lid temperature control
Automatic transfer of substrates between load-lock and process chamber
Process chamber:
Turbo pump
Chiller
Single wafer process chamber
VAT Pendulum valve
Backside helium cooling
Remote sealed extracted gas box with welded gas lines
Electronic cabinet
LCD Flat panel monitor
Automatic multistep processing / Manual operation
High frequency RF Generator
Low frequency RF Generator
Vacuum pump (Load lock)
Vacuum pump (Chamber)
ESD Chuck
System cables.
STS Pro ICP是一種最先進的蝕刻器/asher,可為工業、科學和醫療應用過程提供速度和精度。此蝕刻器/asher在幾乎任何環境中都能保持卓越的設計和測量質量輸出。STS ICP具有頂級銑削頭,速度高達80,000 RPM。它的高精度電動機和進給速率允許精密的蝕刻和灰化作業,並在高產率下獲得平穩的結果。其氣動控制設計采用液晶屏，便於監測生產設置調整。STS ICP還兼容寬廣的寬度和深度，分別在200至2000毫米和3至12mm之間，同時在生產過程中提供精確的控制。它還可以容納最多三種類型的蝕刻到各種表面的尖端。除了其令人印象深刻的生產速度和設置範圍外，STS ICP還具有雙真空輔助系統，可確保精度和防止灰化表面氧化。STS ICP帶有內置的機器視覺系統,可幫助實現自動對準和定心,並以極高的精確度考慮每一點細節。它還配備了檢流計和水冷式尖端控制，以增加精度和重復性。使用STS ICP的高科技硬件和先進軟件,用戶可以確保他們能夠獲得最可靠和精確的蝕刻和灰化解決方案。該產品適用於顯微鏡、醫療器械、光電子、微電子等多種工程和科學應用。STS ICP以其無與倫比的精確度、快速的處理時間、耐用的構造，是任何工業環境下的完美工具。
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