二手 STS Pro ICP #9304690 待售
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ID: 9304690
Etcher, 8", parts system
(2) Load ports, 8" (Can process 25 wafers)
Operating system: Windows
Vacuum load lock:
Carousel load lock, 8" (Can process 2 wafers)
Chamber lid temperature control
Automatic transfer of substrates between load-lock and process chamber
Process chamber:
Turbo pump
Chiller
Single wafer process chamber
VAT Pendulum valve
Backside helium cooling
Remote sealed extracted gas box with welded gas lines
Electronic cabinet
LCD Flat panel monitor
Automatic multistep processing / Manual operation
High frequency RF Generator
Low frequency RF Generator
Vacuum pump (Load lock)
Vacuum pump (Chamber)
ESD Chuck
System cables.
STS Pro ICP（感應耦合等離子體蝕刻/Asher）是由蝕刻和燒蝕設備的領先供應商STS Technologies, Inc.開發的高級蝕刻器/asher。這臺機器使用高功率射頻發生器與感應線圈的直接耦合，在廣泛的頻率範圍內提供高精度、均勻的等離子體場。這導致了更快的蝕刻和灰燼時間，增強了可重復性，以及卓越的微觀和納米精度。Pro ICP系統被用於多種蝕刻和燒蝕應用，包括紫外線激光蝕刻、等離子體蝕刻、多層蝕刻、化學氣相沈積、濺射蝕刻和激光燒蝕。STS Pro ICP可以同時處理一個或多個基板，具有可調的溫度和壓力，以及預設蝕刻或粉刷輪廓的能力。多層蝕刻和asher工藝適用於多種材料，包括薄膜太陽能電池、鋰離子和鋰離子電池材料、微電子等納米材料。Pro ICP機配備了先進的智能控制設備，可以監控和調整等離子能量、氣流速率、蝕刻參數等相關變量等參數。它還能夠執行晶片邊緣處理、均勻蝕刻、層蝕刻等自動化功能。這使得STS Pro ICP成為實現高度精確和精確的蝕刻和粉刷結果的理想工具。此外,該機器還可以與現有系統集成,用於自動化樣品處理,從而使用戶能夠優化其生產過程。Pro ICP系統旨在為最終用戶提供卓越的可靠性、安全性和性能。該單位配備安全聯鎖機，是ETL認證（電氣測試實驗室）至UL（承銷商實驗室）標準。蝕刻和燒蝕過程由獨特的真空工具保護，確保顆粒不會成為周圍環境的汙染物。使用STS Pro ICP,用戶可以放心,他們能夠以最低的風險和最大的反應控制來實現最高的質量和準確性。
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