二手 STS Pro ICP #9361815 待售

STS Pro ICP是為工業高通量生產而設計的蝕刻器/asher。它配備了先進的特點，如工藝參數可調、層選擇性、下腔加熱等，使工藝配方得到精確控制。該平臺利用射頻感應加熱技術，使其能夠在0.1至1000 MHz的頻率範圍內運行。最大處理功率高達700 W，而最高溫度範圍為700-1200 °C。該設備可編程以支持多種工藝配方，包括幹法蝕刻和灰化、濕法和幹法制圖、氧化物沈積和較高層級的蝕刻。它還包括床內剖析和高性能等離子體蝕刻等高級功能。集成控制器具有直觀的圖形用戶界面，使系統易於使用和設置。易於使用的軟件提供了廣泛的靈活流程參數設置選項，而高級流程控制算法則實現了出色的穩定性和流程可重復性。Pro ICP包括一套安全功能,以及互鎖和完整的監控功能。它配備了一個診斷單元，以便於故障排除和預防性維護。此外,該機器還可用於多種自動化配置,包括用於連續生產的串聯工具和用於更大靈活性和作業跟蹤的批處理資產。該模型可擴展以匹配不同應用程序的吞吐量和多功能性要求。總體而言,STS Pro ICP是一款可靠、用戶友好的蝕刻器,適合工業高通量生產。高級功能、安全功能和自動化功能提高了靈活性,改進了過程控制和可重復性。