二手 SUMITOMO F-70H #293752729 待售

SUMITOMO F-70H是為半導體加工應用而設計的尖端蝕刻器和asher設備。這種先進的工具利用等離子技術，以高效率和精確度精確蝕刻和清潔基板。SUMITOMO F70H是一種通用系統，可用於半導體行業的廣泛應用，包括光掩模清洗、抗灰化、介電蝕刻。F-70H的一個主要特點是其強大可靠的等離子體源。該機組裝有一臺能產生高度均勻的等離子體，過程穩定性極佳的高功率射頻等離子體發生器。該等離子體源對於在基材上實現精確、均勻的蝕刻和清潔效果至關重要。F70H還配備了先進的氣體輸送機，可精確控制氣體流量和氣體混合物。這使用戶能夠定制蝕刻和清潔過程以滿足其應用程序的特定要求。氣體輸送工具配有質量流量控制器和壓力調節器，以確保一致和可重現的結果。SUMITOMO F-70H除了擁有先進的等離子體源和氣體輸送資產外，還配備了高度可配置的工藝室。該腔室設計用於容納各種尺寸和形狀的基板，使其適合廣泛的應用。腔室還配有加熱和冷卻模型，用於控制基板在加工過程中的溫度。SUMITOMO F70H由先進的電腦化設備控制,用戶可以輕松編程和優化蝕刻及清潔配方。該系統具有用戶友好的界面，允許直觀操作和實時監控流程參數。用戶還可以存儲和檢索過程配方以獲得可重復的結果。F-70H的另一個重要特點是其先進的端點檢測單元。本機利用光發射光譜法對加工過程中的等離子體發射進行監測，準確檢測蝕刻或清洗過程的端點。這使用戶能夠精確控制流程並確保實現所需的結果。F70H配備先進的安全功能，以保護操作員和確保操作安全。該工具設計有互鎖機制，以防止在操作過程中未經授權進入加工室。它還具有安全傳感器來檢測和響應異常操作條件。總體而言,SUMITOMO F-70H是一種最先進的蝕刻器和asher資產,可提供高性能、多功能性和可靠性。SUMITOMO F70H憑借其先進的等離子體技術、精確的控制系統和用戶友好的界面，是需要對基板進行精確蝕刻和清潔的半導體加工應用的理想解決方案。