二手 SUMITOMO SP012 #293776226 待售

SUMITOMO SP012是一款尖端蝕刻/asher設備，設計用於半導體制造、研發應用中各種材料的精確高效處理。憑借其先進的技術和高性能,SP012在蝕刻和灰化過程中提供了無與倫比的控制和靈活性,使其成為在各種應用程序中實現高質量結果的寶貴工具。主要功能和技術規格：1.等離子體源技術：SUMITOMO SP012配備了高性能等離子體源，產生高反應性等離子體，從底物中高效去除光致抗蝕劑、聚合物和其他有機材料。等離子體源確保在基板表面上均勻一致的蝕刻/灰化,從而實現精確的陣列和過程控制。2.工藝靈活性：SP012提供了廣泛的工藝參數和選項，以適應各種材料和應用。用戶可以調整氣體流量、壓力、溫度和射頻功率等參數，使蝕刻/灰化工藝適應特定要求，確保不同材料和結構的最佳效果。3.Multi-Step Processing： SUMITOMO SP012支持多步驟處理功能,允許用戶在不同條件下依次執行不同的蝕刻/ashing步驟,以實現復雜的設備結構和模式。該系統可以編程為在不同的工藝配方之間自動切換，提高生產率和工藝效率。4.反應性氣體控制：SP012的特點是精確控制蝕刻/灰化過程中使用的反應性氣體，使用戶能夠對目標材料實現特定的化學反應和選擇性。該裝置提供氣流控制和混合能力，以針對不同的工藝要求創建定制的氣體化學體系。5.端點檢測：SUMITOMO SP012配備了高級端點檢測系統,可實時監控蝕刻/灰化過程。通過檢測等離子體排放或其他指示器的變化，機器可以準確確定何時達到所需端點，確保過程結果一致，防止過度蝕刻/灰化。6.腔室設計：SP012采用堅固的腔室設計,優化了工藝性能和可靠性.該腔室的設計旨在保持穩定的工藝條件，最大限度地減少顆粒汙染，並確保有效的等離子體生成和分布，以實現均勻的蝕刻/灰化結果。7.用戶友好界面：住友SP012配備了一個直觀的用戶界面，簡化了工具操作和過程控制。該資產提供了簡單的配方編程、數據日誌記錄和監視功能,使用戶能夠輕松設置和運行復雜的蝕刻/ashing過程。總體而言,SP012 蝕刻器/asher模型是半導體制造和研究中高精度、可靠的蝕刻/灰化工藝的前沿解決方案。SUMITOMO SP012憑借其先進的技術、流程靈活性和用戶友好的界面,提供卓越的性能和控制,可在廣泛的應用程序中獲得最佳效果。