二手 SUNIC Tenacier-400VE #9308329 待售
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SUNIC Tenacier-400VE是一種堅固可靠的蝕刻和粉刷設備,用於多種行業。它是該類中公認最廣、最可靠的機器之一。Tenacier-400VE是一個集成的蝕刻和灰化系統,便於對半導體晶圓、MEMS/NEMS和其他材料等基材進行蝕刻和灰化。它適用於範圍廣泛的應用,從涉及半導體晶圓和集成電路(IC)的應用到涉及醫學和研究應用的應用。SUNIC Tenacier-400VE配備了一個精密晶圓處理程序和一個化學品供應和管理單元,以便在過程中進行更高的控制和準確性。它帶有一個RCOMS控制器,它提供易於使用的蝕刻控制軟件和快速設置,以安全和可重復的操作。它配備了符合人體工程學的繞線器裝卸機、專門的專有浸入式加熱器,以及先進的超音速精細清潔選項。利用機器的一組特定特性同時進行蝕刻和灰化操作。它能夠以清潔的結果、無化學幹擾、無痕跡或劃痕、一致的區域覆蓋和可重復的精度進行蝕刻。在加工過程中,機器能夠感應任何加熱材料的精確膜厚度,並相應地調整蝕刻速度。它還具有內置過程日誌跟蹤功能,實時監控主要參數,並提供高級控制功能,例如壓力補償,以最大程度地減少材料翹曲或熱沖擊損壞。Tenacier-400VE能夠進行多種工藝,包括化學/溶劑蝕刻、濕蝕刻、幹蝕刻、陽極鍵合、電化學蝕刻和等離子體蝕刻。它還能進行介電拋光和表面修飾。該機具有高溫能力,溫度範圍寬40至320°C,溫度控制精度為+/-0.2°C。它還帶有一個內置的微型超音速腔室,允許超細清洗。SUNIC Tenacier-400VE是一種安全可靠的機器,用於蝕刻和灰化過程.其安全準確的操作使其適合用於工業、研究和醫療應用。憑借其先進的控制功能,它能夠以可重復的精度和優異的效果執行各種過程。
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