二手 TAINICS TE3100 #9144232 待售

TAINICS TE3100是一種用於半導體晶片和元件精密蝕刻和灰化的蝕刻器/灰化器。TAINICS TE 3100因其獨特的工藝控制和精確的溫度控制,提供了優於傳統燒錄技術的性能。該設備采用直觀設計的觸摸屏控制界面，便於設置和調整工藝參數。TE3100采用獨立隔離的不銹鋼工藝室，以確保高溫和精確的溫度控制。它可以在15分鐘的單循環內達到800⁰C的溫度,並通過嚴格的溫度控制進行蝕刻和灰化。TE 3100設計方便用戶,無需特殊的清潔或維護工具。這種緊湊的設計還允許系統位於晶圓制造區域附近，以便快速、方便地設置和清潔循環。它既有可選的內置排氣裝置，也可與外部排氣機配合使用，以滿足客戶的應用要求。TAINICS TE3100還具有兩種工藝氣體選項,以實現對腔室的精確溫度控制。惰性氣體選項用於保護晶片在過程中不受任何氧化，以及提供穩定的大氣。氧氣選項用於控制蝕刻或灰化過程。該工具還具有精度為0.1°C的腔室的精確溫度控制、溫度指示器以及用於過程持續時間和溫度測量的LED面板顯示器。TAINICS TE 3100設計為經濟實惠的解決方案,可滿足所有蝕刻和灰化需求。該工藝室設計用於可重復、可靠的處理。它還有一個開放的體系結構，能夠靈活的蝕刻和灰化配方和參數。資產還提供簡單的校準和維護,以確保最佳性能。