二手 TECHNICS 220-II #9124218 待售
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ID: 9124218
晶圓大小: 4"
Barrel plasma asher
(3) Three gas channels with mass flow controllers
Stainless steel chamber process up to 4” dia
300 Watt 13.56 MHz power supply
Substrates.
TECHNICS 220-II 蝕刻器/asher是一種用戶友好的高性能臺式機設備,它在一個平臺中結合了蝕刻和研磨的功能。它采用由五個主要模塊組成的模塊化設計,旨在使用戶能夠以比大多數市售系統低得多的成本,以高質量和精確度生產電路和設備模式。220-II 蝕刻器/asher的第一個模塊是高速半導體蝕刻器。此蝕刻模塊提供了卓越的Si: Si蝕刻速率,使用戶能夠獲得更高水平的蝕刻精度,而其他常規系統則難以做到這一點。蝕刻模塊的高吞吐量帶來了卓越的吞吐量能力和對蝕刻深度的改進控制。Ashing模塊提供了一個強大的五通道射頻等離子體源,可產生高溫、高反應性的通量,從而實現有效而精確的Ashing操作。TECHNICS 220-II的灰化模組具有高溫能力,使得各種材料如Si、SiO2、SiN、聚酰亞胺等聚合物和電介質都能灰化。該系統的第三個模塊提供了一個快速、精確的無掩碼光刻單元。220-II的無掩碼光刻機使用高分辨率投影工具,提供卓越的圖樣清晰度功能,能夠精確定義設備和圖樣。與支持多種設計等其他功能一起,無掩碼光刻模塊為用戶提供了完成復雜設備的經濟高效的解決方案。資產的第四個模塊提供了一個串聯檢查模塊,旨在識別和糾正光刻操作過程中的設備關鍵缺陷。串聯檢查模塊允許高速檢測和糾正設備關鍵缺陷以及應用通過/失敗標準。此外,該模型使高級算法的使用能夠提高檢測的準確性。設備的第五個模塊是一個手動機器人工具,提供設備測試、原型設計和裝配操作所需的幾個硬件組件。此工具使用戶能夠快速輕松地組裝關鍵設備,然後對其進行測試以確定設備性能。手動機器人工具還提供了其他功能,如應用程序特定的設備探測、現場操作和分析以及故障隔離。綜上所述,TECHNICS 220-II 蝕刻器/asher是一個可訪問但功能強大的系統,適合希望以高質量和精確度同時產生電路和設備模式的用戶。通過其五個主要模塊,該單元旨在為用戶提供一個高效且價格合理的蝕刻和灰化操作解決方案。
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