二手 TECHNICS DR 5100 #177471 待售

TECHNICS DR 5100是一款高性能的蝕刻器/asher，設計用於照顧集成電路（IC）生產過程中的蝕刻和灰化要求。利用具有自動光束對準技術的多光束準分子激光源，實現了整個IC所有區域幹蝕刻的高均勻性，提高了器件性能。DR 5100是一種全自動設備,操作方便用戶,允許在IC工廠中以最低的人員配置要求進行精確和可重復的流程。它具有精確結果的高精度模式對齊，並自動調整工藝參數以獲得最佳結果。平臺可適應箭頭、各向異性、臺面和空白等不同蝕刻圖案。該機器有兩個獨立的蝕刻和灰化處理室，以實現同一系統的同時蝕刻和灰化。該機提供高精度蝕刻深度控制、可調蝕刻深度和ashing速度、精確可調蝕刻工藝參數以及精確的縱向定量控制。TECHNICS DR 5100的泵機由渦輪分子泵和循環氮氣凈化機兩個階段組成，確保了完全清潔的真空。它配備了精確的UV激光源，可以通過以太網或RS 232進行控制。該工具具有使用攝像頭監控和控制生產中的IC的能力，並具有從流程模塊發送信號的監控資產。這允許實時的過程反饋，以及晶圓溫度、氮氣壓力和蝕刻深度的實時監測。這是一個理想的平臺，一個IC晶圓廠想要提高他們的吞吐量和提高生產過程。DR 5100是一款可靠、健壯且功能強大的蝕刻器/asher,旨在滿足集成電路的所有蝕刻和灰化要求。