二手 TECHNICS Micro RIE 800 #9239257 待售

TECHNICS Micro RIE 800是一種蝕刻器，或稱asher，是一種用於通過與等離子體化學反應從表面蝕刻或去除材料的設備。它專為半導體晶片、膜、顯示器和碳納米管等非常小的特性和材料的等離子體蝕刻而設計。Micro RIE 800有一個由微波源組成的等離子體源，提供高達800 W的微波功率。它還配備了一個匹配的設備，用於向射頻等離子體腔室精確供電。這樣可以確保整個樣品均勻蝕刻。蝕刻室本身是一個壓力控制的半密閉蝕刻室，尺寸為400 x 277 x 157mm。它旨在向樣品表面註入精確瞄準的Ar/O2等離子體。TECHNICS Micro RIE 800還擁有6通道氣體輸送系統，控制分辨率為0.1 SLM。這允許對等離子體化學的精確控制。通過安裝傳感器確保安全,以確保蝕刻室內的安全操作壓力。此外,設備中還嵌入了一個RF電源監視器,可在電源過多時保護ETCHER。Micro RIE 800具有模塊化設計，因此用戶可以通過增加額外的模塊輕松升級。這允許更大的靈活性，並允許用戶定制機器以適應他們的特定要求。此外,該工具的設計效率極高,蝕刻速率高,樣品損壞最小。TECHNICS Micro RIE 800易於使用，適用於一系列微蝕刻應用。它具有用戶友好的觸摸屏界面，允許直觀操作。它還包括一組遠程操作軟件,用戶可以使用該軟件遠程監視蝕刻過程。這為用戶提供了對其蝕刻過程的完全控制。總體而言,Micro RIE 800是精密蝕刻非常小的特性和材料的絕佳工具。它結合了強大的微波源和優化的匹配資產，提供高蝕刻速率和優良的樣品質量。