二手 TECHNICS Micro RIE Series 800-II #9303728 待售

TECHNICS Micro RIE系列800-II是微電子工業中精密蝕刻和灰化的最先進的蝕刻和灰化機。Micro RIE Series 800-II配備了5英寸直徑乘5-2/5英寸（125毫米）的曝光窗口，並具有運動、掃描和基本曲線的高級舞臺控制功能。該設備基座采用高性能導電石墨絕緣隔熱裝置，可在1°C以下進行高級溫度控制，並設有石英密封排氣口，以防止汙染。TECHNICS Micro RIE Series 800-II還具有先進的債券相關器軟件包和直觀的圖形用戶界面，允許精確的過程控制。Micro RIE Series 800-II配備了淬火壓力控制器功能，允許精確控制和可重復的工藝設置，以實現最佳蝕刻或灰化。該系統還能夠同時控制多達三種氣體進行精密蝕刻和灰化。高通量高頻等離子體發電機具有低至1W的功率水平，在敏感的小面積過程中具有良好的控制能力。快速的4步過程確保了高質量的過程,只需幾秒鐘的曝光即可完成灰度處理。TECHNICS Micro RIE系列800-II由高質量的材料和組件組成,可實現最高的精度和精確度。該單元由電壓高達220V的單相0.2 kW電機控制機供電。高級控制器還具有PI控制功能,可實時調節灰分過程中的暴露和壓力。Micro RIE系列800-II還提供多種安全功能,包括緊急關閉功能,以確保用戶始終安全。高性能、耐腐蝕的等離子體發生器處理間隔短至0.1秒，確保了精確蝕刻。TECHNICS Micro RIE系列800-II非常適合用於微電子行業。5 「x 5-2/5」（125毫米）蝕刻器/灰燼是精確、快速蝕刻和灰燼的理想選擇。該工具具有準確、可重復的流程設置、高級階段控制以及直觀的圖形用戶界面。其快速的4步工藝、單相0.2 kW電機控制資產、高通量高頻等離子體發生器，使Micro RIE系列800-II微電子蝕刻和灰化的首選。