二手 TECHNICS PLASMA GMBH 300 PC #293754150 待售

TECHNICS PLASMA GMBH 300 PC是一款高性能的蝕刻/asher設備，設計用於半導體、微電子、材料科學等多種材料的精確高效的等離子體處理。這種先進的等離子體系統配備了最先進的技術，為廣泛的應用提供卓越的過程控制、可重復性和可靠性。主要功能和規格：1.等離子體來源：300 PC配備了堅固的等離子體源，能夠產生用於蝕刻和灰化過程的高反應性等離子體種類。對等離子體源進行調諧，以各種頻率和功率水平運行，以適應不同的材料類型和工藝要求。2.工藝室：該裝置具有高真空工藝室，設計用於均勻的等離子體分布和高效的氣相反應。腔室由耐腐蝕材料制成，可承受惡劣的等離子體環境，便於清潔維護。3.氣體輸送機：蝕刻器/灰化器工具配備精確的氣體輸送資產，以受控的流量和壓力將反應性氣體送入工藝室。這確保了對等離子體化學和蝕刻/灰化率的精確控制，以獲得最佳的工藝性能。4.基板處理：TECHNICS PLASMA GMBH 300 PC支持各種基板尺寸和類型，包括晶圓、玻璃基板和薄膜。該模型配備了機器人基板搬運設備，用於自動裝卸基板，最大限度地減少人工幹預，提高工藝吞吐量。5.射頻電源：等離子體系統由高頻射頻電源供電，能夠向等離子體源輸送精確的功率水平，用於控制等離子體密度、均勻性和處理過程中的穩定性。RF電源與先進的阻抗匹配網絡集成在一起，以實現高效的功率傳輸和等離子體發電。6.工藝控制軟件：蝕刻器/asher單元由復雜的工藝控制軟件控制,該軟件提供了一個用戶友好的界面,用於定義工藝配方、實時監控工藝參數以及優化工藝條件以實現所需的蝕刻和灰化結果。軟件還具有用於流程優化和故障排除的數據記錄和分析工具。7.安全特點：300 PC配備基本安全功能,確保操作員在操作過程中的保護和機器完整性。這些措施包括互鎖、緊急停止按鈕、氣體泄漏探測器和超壓安全閥，以防止發生事故並確保危險材料的安全處理。總體而言，TECHNICS PLASMA GMBH 300 PC是一款尖端蝕刻/asher工具，將先進的等離子體技術與穩健的設計和用戶友好的控制相結合，以滿足現代半導體和材料加工應用的苛刻要求。憑借其高性能、卓越的工藝控制和安全特性，這種等離子體資產是需要精確可靠的等離子體處理解決方案的研究和生產環境的理想選擇。