二手 TECHON TSR2302 #293801602 待售

TECHON TSR2302是為半導體制造和研究應用中精確高效的材料加工而設計的一種尖端蝕刻/asher設備。這種先進的設備結合了蝕刻和灰化兩種工藝的能力，使用戶能夠在各種基材的蝕刻、清潔和表面改性方面取得優異的效果。TSR2302配備了最先進的技術和功能,使其在行業中脫穎而出。它的一個關鍵亮點是它的雙模操作，允許用戶在蝕刻模式和灰度模式之間無縫切換。這種多功能性對於需要在同一系統上執行多個進程而不需要額外設備的用戶特別有利。該裝置采用高性能真空室，確保控制和穩定的處理環境。該腔室旨在最大限度地減少汙染，並在整個基板表面提供統一的加工條件。真空機配有精密控制閥和傳感器，能夠對過程參數進行精確的壓力調節和實時監控。在工藝能力方面，TECHON TSR2302提供了廣泛的蝕刻和灰化選項，以適應不同的應用和材料。該工具利用各種氣體化學和等離子體源實現電介質、金屬和半導體材料的選擇性和均勻蝕刻。此外，對灰化工藝進行了優化，以清除基板表面的有機殘留物和汙染物，確保高質量和清潔的加工結果。該資產還配備了先進的等離子體源，產生高反應性物種，以進行高效的材料去除和表面改造。這些源可以獨立控制，根據具體工藝要求量身定制等離子體化學和功率分配。這種靈活性使用戶能夠優化不同材料的工藝參數,並獲得精確的蝕刻和灰化結果。此外，TSR2302還具有一個方便用戶的界面，可方便地控制工藝配方和參數。該型號配備了觸摸屏控制面板，提供直觀的導航和對流程狀態的監控。用戶可以創建和保存自定義流程配方,實時調整參數,並跟蹤流程數據以進行分析和優化。安全和可靠性也是TECHON TSR2302設計的重中之重。設備配備了先進的安全功能，包括互鎖、壓力傳感器和溫度監測器，以確保操作安全，防止潛在危害。此外,系統采用高質量的組件和材料構建,可確保長期的可靠性和最小的停機時間。總之,TSR2302是一個尖端的蝕刻/asher單元,它為半導體制造和研究應用提供了無與倫比的性能、多功能性和可靠性。憑借先進的技術、用戶友好的界面和穩健的設計，這臺機器是在廣泛的行業中實現精確高效的材料加工的寶貴工具。