二手 TEGAL 1511E #9080737 待售

TEGAL 1511E Asher/Etcher是一種多功能、半真空、精密的薄膜加工設備，設計用於在基板上生產細線集成電路。該系統利用高真空、等離子體和反應性氣體蝕刻技術相結合，生產出尺寸控制精確、精度高的裝置。1511E是完全自動化的,能夠采用基於膜的、基於石英的和自旋塗層的掩蔽技術,並允許直接、非掩蔽的矽蝕刻。TEGAL 1511E的主室是一個8 「x8」不銹鋼室，允許蝕刻小至2 「x2」的基板。該單元的工藝參數是完全可編程的，可以調整到低至1微米的水平，這取決於基板和工藝。它的半真空機降低背景壓力，允許直接蝕刻敏感設備，包括MEMS組件。1511E具有高效的渦輪分子真空泵，能夠達到6x10-6 Torr的真空水平。這種低壓有助於最大限度地減少蝕刻時間，並使更高的縱橫比結構能夠被高輪廓精度的蝕刻。它還利用射頻電源和渦輪泵浦偏置壓板創造了電子增強等離子體環境，確保了出色的蝕刻選擇性和粒子還原。TEGAL 1511E ICP源氣體輸入RPX-200進一步特征,允許添加額外的工藝氣體以實現最佳蝕刻性能。該工具可以在僅傳輸模式下運行，也可以在可選的進程室中運行，允許與PLC和過程控制軟件接口使用完全可編程的進程參數。1511E是生產高縱橫比、窄公差結構的理想選擇,具有流線型操作平臺、直觀的用戶界面和卓越的性能。它的維護程序需要最少的訓練，其腔室經過優化，便於更換磨損部件。它符合適用的安全和環境法規,可以配置為滿足廣泛的客戶需求。