二手 TEGAL 211 #114351 待售

TEGAL 211是一款高性能的等離子體蝕刻器和asher。它是一種全自動的單晶片設備,專為精確控制和統一蝕刻工藝而設計,以確保在長生產周期內達到最高精度。該系統的主要組成部分是其高功率的單級渦輪泵，它作為壓力控制單元，確保在晶圓上進行精確一致的蝕刻。與泵相分離的浮動圓頂蝕刻室提高了均勻性，產生低輪廓高度和側壁角的高蝕刻速率。晶圓加工溫度也得到精確控制，腔室能夠達到700 °C的溫度。211還具有TEGAL 211多功能RF Power Machine,可實現穩定、高性能的處理,並具有可重復的結果。這款電動工具支持高密度、低加速度等離子體，用於改進高長寬比蝕刻。可以調整資產的最優均勻性、蝕刻速率和蝕刻選擇性。211的精度進一步通過其全面的一套測量工具和控制系統，包括自動對準、自動對焦和等離子體氣體控制，以實現準確的過程重復性，以及其先進的地下損傷檢測系統、邊緣效應和終身管理。該模型還提供了具有過程控制和管理功能的直觀、基於平臺的圖形用戶界面。這允許用戶存儲工藝配方，監控蝕刻參數，利用批處理效率。TEGAL 211非常適合多種應用，包括半微米或更小的光掩模制造、介電和金屬蝕刻、系列線性金屬臺面蝕刻、納米線蝕刻、半導體器件制造、金屬植入、數據存儲和幹晶片清洗。