二手 TEGAL 411 #5671 待售
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ID: 5671
晶圓大小: up to 4"
Plasma asher
Aluminum chamber for up to 4" wafers
Optional:
Direct drive pump
Fomblin/Krytox prep (if pumping explosive gas)
1/2 Gallon reclaimed Fomblin/Krytox oil.
TEGAL 411是一種創新的蝕刻器,將現代設計與經過時間考驗的蝕刻技術相結合。它是一個經濟高效且用戶友好的解決方案,適用於各種蝕刻應用程序,從小型愛好任務到大型商業蝕刻項目。該裝置由標準交流插座供電,並配有可調轉速和溫度控制裝置,溫度範圍高達400°C,最小轉速為1200 RPM。這允許對蝕刻過程進行快速和精確的調整,使一系列基材能夠安全有效地蝕刻。411具有多種安全功能,如內置空氣凈化系統過濾有害氣體和蒸氣,以及自動溫度和壓力監測。還包括自動關閉功能,以確保防止過熱或突然停電。外觀上有堅固的鋁合金外殼,為蝕刻工藝提供了安全可靠的環境。此外,蝕刻室設計用於最大散熱,進一步保護蝕刻器不受意外過熱的影響。該設備擁有23升的大容量,並配有方便的OLED觸摸屏顯示屏,輕松導航和易用性。顯示屏具有直觀的觸控功能,允許用戶輕松訪問和調整速度、溫度等設置。還包括一個可調蝕刻噴嘴,使用戶能夠為一些基板定制其蝕刻。作為額外的好處,TEGAL 411與廣泛的蝕刻材料兼容,包括不銹鋼、銅、黃銅、鋁、錫以及其他各種合金。總之,411是一款高度評價的蝕刻器,可為用戶提供安全、可靠且經濟高效的蝕刻需求解決方案。該裝置具有可調節的速度和溫度控制、內置的空氣凈化系統以及大容量的腔室,適用於各種應用和材料。使用直觀的OLED顯示和觸摸控件,TEGAL 411一定會使任何蝕刻項目取得成功。
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