二手 TEGAL 411 #9163033 待售

TEGAL 411是為生產晶圓加工而設計的蝕刻/灰分系統。它主要用於晶圓制造，用於集成電路的生產。蝕刻器具有單室設計，允許在一個周期內完成多個級別和類型的蝕刻和灰化操作。411有上下室，有上下源和基質。這些腔室由不銹鋼構成，其特點是設計用於處理高腐蝕性過程，如反應性離子蝕刻。每個腔室有兩個加熱區，可以進行精確的溫度控制。TEGAL 411還具有低損耗轉移機制，確保基板在加工過程中的高精度對準。411可以配置為在一系列半導體材料上進行蝕刻和灰化操作，包括矽、復合半導體材料和多晶矽。它能夠使用硬面膜進行操作，包括光刻膠和氧化物蝕刻/灰分。TEGAL 411還支持高吞吐量生產,周期時間為30秒或更短。411的性能通過強大先進的等離子體源和電子束和離子束系統的結合得到進一步提升。這樣就減少了汙染的機會，並可能應用通量和產量提高的技術。TEGAL 411包括運動探測器和溫度截止開關等安全功能。這些功能使蝕刻器可靠,並減少過熱或其他可能損壞材料或導致過程失敗的問題的機會。411還具有低功耗功能,非常適合全天候生產環境。綜上所述，TEGAL 411是為生產晶圓加工而設計的蝕刻/灰分系統。它能夠在一系列半導體材料上進行各種蝕刻和灰化操作，具有高精度對準和低損耗傳遞機制。它還具有運動檢測和溫度關閉等安全特性，以提高可靠性。411是適用於當今高吞吐量應用的強大可靠的系統。