二手 TEGAL 415 #5672 待售

TEGAL 415是一款先進的蝕刻器/asher設備,以其高速、可重復和超精細的處理而聞名。它是微米到納米範圍內精密加工的理想設備，包括MEMS、薄膜和高縱橫比結構。415有一個模塊化平臺，設計用於濕蝕刻和幹蝕刻。濕蝕刻是一種等離子體增強過程，其中化學品或氣體用高頻電場電離，實現快速、精確和選擇性蝕刻。幹蝕刻利用先進、高度可靠的技術，如反應性離子蝕刻（RIE）和等離子體蝕刻，進行深度控制和高長寬比處理。TEGAL 415能夠在4英寸晶圓上產生± 3%均勻度的精確特征。通過最小蝕刻時間和過程的高優化來實現高吞吐量。在蝕刻過程中可以得到和維持低至0.01 Torr的壓力輸出，導致高重復性。415是一款功能強大、精密的蝕刻器,與廣泛的、材料和應用程序兼容。它利用一個可伸縮的腔室，以盡量減少顆粒汙染的風險和一個前端加載系統，以消除晶圓傳輸。為確保晶片在蝕刻過程中受到保護,該單元嵌入了電氣和機械信號,這些信號報告腔室條件,包括溫度（最高100˚C和速度）。此外，該機還配備了一個頂級安全工具，包括自動氣體關閉和可變壓力夾緊床，以防止壓力累積和不安全的情況。此設置還允許快速、方便的維護和維護。模塊化和易於使用的界面允許在批量和單個晶圓模式下運行各種蝕刻配方,從而使此資產適用於開發和生產環境。TEGAL 415具有最小的占地面積和卓越的成本效益,可以證明它是處理MEMS、薄膜和高寬高比結構的實驗室或設施的絕佳補充。