二手 TEGAL 415 #9010610 待售

TEGAL 415是一種頂級性能的蝕刻器/asher,用於執行生產半導體電路和器件所需的一系列蝕刻/灰化過程。此蝕刻器/asher具有幾個獨特的屬性,使其成為各種半導體蝕刻/灰化過程的理想選擇,尤其是那些涉及濕蝕刻和灰化的過程。415 蝕刻器/Asher的突出特點是能夠用多種基材實現高質量的蝕刻/Ashing結果，包括金屬、多晶矽、石英和GaN。通過添加幾個用於控制流程的專用軟件包，可以實現這一點。這些軟件包允許用戶調整蝕刻/灰化參數,例如蝕刻/灰化壓力和定時,以獲得最佳效果。此外,TEGAL 415還配備了先進的溫度控制系統,確保完成所有灰化和蝕刻過程,並獲得精確一致的結果。415還具有最先進的環境室,有助於保持溫度一致並保持蝕刻/灰化過程的最佳條件。該腔室配有多種專門的傳感器，用於監測腔室內的環境狀況，並不斷調整蝕刻/灰化參數，以確保獲得最佳效果。此外，環境室的設計具有耐腐蝕性，能夠在超過正常範圍的各種不同溫度下工作。TEGAL 415還包括一個供氣系統，確保每個工藝的蝕刻/灰化壓力和氣流保持在最佳範圍內。這種供氣系統確保蝕刻/灰化過程能夠以最高的效率和一致性進行。415是一種高度先進的蝕刻器/asher,旨在以精確和精確的方式完成要求最苛刻的蝕刻/ashing過程。其廣泛的功能使其成為從半導體器件生產到先進研發等廣泛應用的理想選擇。