二手 TEGAL 415 #9143547 待售

TEGAL 415是蝕刻器/asher。它專為半導體行業的應用而設計，並通過其高精度的光束輸送系統提供增強的性能。415是一種全自動設備，能夠處理各種尺寸的晶片，直徑可達8英寸，有角度的晶片。它旨在最大限度地提高吞吐量和準確性,同時確保安全的環境。該系統具有先進的光束傳送光學系統.這包括一個各向同性光束均勻化單元，它可以在整個晶圓表面傳遞高精度光束輪廓，確保均勻蝕刻。光束光斑尺寸和散度保持在1% ±的精度，保證了最佳蝕刻性能。該機還具有全自動端點檢測工具，可有效控制蝕刻過程。端點檢測傳感器測量蝕刻晶片表面的光強度剖面，為實現蝕刻提供準確的測量。資產可以手動或自動化模式操作，使操作員能夠快速、輕松地調整蝕刻參數。該模型的用戶友好的圖形用戶界面使操作設備變得直觀，即使對於沒有經驗的用戶也是如此。該系統具有強大的冷卻裝置,能夠保持溫度穩定並消除熱損壞。TEGAL 415還包含了先進的安全措施，包括一個蓋聯鎖安全開關，打開後立即關閉機器。綜上所述，415是專門為半導體行業設計的高度精確的蝕刻器/asher。它能夠提供精確的光束傳遞，使其在整個晶圓表面實現均勻蝕刻。端點檢測工具可以準確控制蝕刻過程,而用戶友好的圖形用戶界面則可以輕松操作。TEGAL 415強大的冷卻資產結合先進的安全措施，保證了用戶的安全環境和半導體行業預期的高度精確的蝕刻性能。