二手 TEGAL 415 #9187146 待售

TEGAL 415是由TEGAL Corporation開發的自動化asher。它是一個全尺寸的獨立設備，提供晶圓模具清洗、蝕刻和薄膜沈積工藝。415是一個可靠、高效、具有成本效益的系統，已被證明適合廣泛的應用，包括半導體制造、MEMS和光電器件。TEGAL 415由自動化的機器人機床組成,能夠處理直徑不超過200 mm的基板。該單元設有裝載站，首先將基板裝入機器，然後自動放置在蝕刻和薄膜沈積平臺上。該工具還配備了集成控制器，允許對整個過程進行精確控制，並確保每個基板的處理一致。415有兩個獨立的蝕刻室。第一室針對模具清洗和圖像蝕刻進行了優化，第二室針對腐蝕、氧化物去除和透晶片蝕刻進行了優化。蝕刻室是溫度和壓力控制的，能夠實現過程臨界的均勻性、重復性和準確性。TEGAL 415還包括一個薄膜沈積平臺。該平臺能夠產生高度可靠的低表面粗糙度層。它配有旋轉和線性運動級，以及兩個單獨的電子束源，用於塗覆基板。該資產還能夠同時加工多種基材，使其成為生產規模研究的絕佳選擇。總體而言,415是可靠且經濟實惠的asher/etcher。它能夠處理廣泛的應用，包括半導體制造、MEMS和光電器件。其先進的控制器確保了每個基板加工的精度和可重復性。其兩個獨立的蝕刻室和薄膜沈積平臺能夠產生可靠和一致的結果。它是任何半導體生產過程的理想解決方案。