二手 TEGAL 515 #293655082 待售
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TEGAL 515是一種蝕刻器/asher，用於電子制造業的一系列工藝。它為Si、SiO2、SiN、WSi2、金屬合金和其他導電和非導電材料等多種材料提供沈積和蝕刻能力。515專為處理大批量生產過程而設計。它配備了一系列有助於高效處理的功能。這些特點包括高速沈積和蝕刻速率，使吞吐量優化；精確控制過程參數,例如壓力、溫度和氣流；以及對所有參數進行實時監控的先進控制設備。蝕刻器/asher還提供了工藝靈活性，能夠使用各種蝕刻氣體，以及兩種或兩種以上的混合物用於更復雜的工藝。它還具有一個精密的自動晶片處理系統，一個正在申請專利的矢量單元，能夠精確控制晶片相對於蝕刻工具的位置，以及一個高精度的波紋泵，以維持沈積過程中的最佳壓力。TEGAL 515還附帶了一系列其他功能,這些功能可提供用戶友好的體驗。其中包括直觀的操作員GUI屏幕、易於使用的流程配方、用於故障排除的內置診斷程序,以及用於最佳流程設置的多個配方。此外,還可以針對不同的配方和工藝參數對計算機進行配置,以便用戶根據自己的特定需要對其進行自定義。綜上所述，515是一種高性能的蝕刻器/asher，設計用於各種材料的可靠和精確的沈積和蝕刻。它提供快速沈積和蝕刻速率；對工藝參數的精確控制；強大的控制工具；靈活使用蝕刻氣體；精確的晶片處理；以及用戶友好的功能,可實現無故障操作。
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