二手 TEGAL 515 #9192920 待售

TEGAL 515是Lam Research Corporation設計制造的蝕刻/asher設備。這種晶圓蝕刻器/灰化器系統主要用於半導體材料的去除.515利用強大的工藝室,采用多層源設計和大型多介電路徑氣體輸送裝置。TEGAL 515配備主室、高密度等離子體機（HDP）和獨立渦輪泵。主室是一個溫度控制、隔離的過程室，效率高，功耗低。這個腔室為有效去除提供了一個受控的環境，而不存在熱梯度或晶圓和工藝氣體之間的機械相互作用。主室還消除了直接或間接熱輻射可能造成的汙染。HDP工具提供高密度等離子體以產生等離子體輔助化學蝕刻，並且能夠在多層光掩模上操作。為進一步提高蝕刻精度，包括低沖擊離子源。離子源也被用於產生等離子體輔助沈積。獨立渦輪泵通過主動控制工藝室內的壓力，確保了工藝室內一致穩定的真空環境。渦輪泵可實現低至10-7 mbar的運行壓力。515配備了多種供氣選項，可在氣泡或無氣泡輸送配置中激活。供氣選項包括氮氣、氧氣、氙氣、二氧化碳和六氟化硫。綜合氣體供應允許使用多種加工氣體，可以進一步優化，以滿足每種應用的具體工藝需求。TEGAL 515還具有增強的安全性和可靠性功能,包括電磁幹擾保護資產及其模塊化可配置設計,使安裝和維護成為一種微風。最後,它的可編程界面允許自動進行預處理、現場報告和結束運行數據收集。Lam Research Corporation的515 蝕刻器/asher憑借其增強的安全特性、高密度等離子體模型、獨立渦輪泵和可編程接口，是半導體材料去除的理想選擇。