二手 TEGAL 6000 #293616018 待售

TEGAL 6000是專門為使用可靠的光刻工藝生產集成電路（IC）蒙版而設計的蝕刻器/asher。它旨在提供一個完全自動化、用戶友好且經濟高效的解決方案,該解決方案可以定制以滿足任何客戶的需求。該設備具有較大的觀賞區域和異常剛性的結構,可確保高可重復性、精確的對準和長期穩定。它還采用了最新的激光對準和面罩生成系統，用於幹式和濕式系統。6000可以處理小型和大型基板,最大尺寸可達30英寸。能產生細至10微米的分辨率，最大深度5微米。該設備采用高速精密x-y表,允許步驟和重復操作。此功能使設備非常適合需要大量工作的環境。此外,TEGAL 6000還具有出色的靈敏度和廣泛的可調整性,可用於將幹層和濕層蝕刻到晶片上。在安全特性方面，6000具有監控大氣，使操作員能夠監控蝕刻過程中產生的任何危險副產品。封閉式室內環境（CCE）還確保工作區域始終清潔和封閉，減少汙染風險。在操作上，TEGAL 6000簡單明了。用戶界面提供簡單的圖形菜單系統以及內置的診斷和故障排除菜單。寬大、明亮、背光的液晶屏幕為用戶提供了所需的所有信息。各種控制-頂部、撥號和開關也便於操作。6000是一種極為有用和可靠的蝕刻器/灰化器,同時也是一種極具成本效益的解決方案,既滿足高批量生產需求又滿足低批量生產需求。其處理大小基板的能力，分辨率高達10微米，最大深度為5微米，提供了出色的蝕刻效果。TEGAL 6000具有板載診斷、自動掩模生成系統和高性能,非常適合IC生產需要。