二手 TEGAL 6500 #9238618 待售
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ID: 9238618
System, 6"
Etch chamber
Passivation chamber, 6” for metal etch AlSi / AlSiCu
PM1-Non-functional
PM2
PM3-Stripper
PM4-Rinser
PM5-Aligner
CM1-Cassette module 1
CM2-Cassette module 2
TM1-Primary robot
TM2-Secondary robot-atmosphere
Chiller
RF Generator
Monitor.
TEGAL 6500是一種微加工工具，用於各種材料的蝕刻和灰化。該設備用途極為廣泛，應用範圍廣泛，包括摻雜、沈積、材料去除和蝕刻。它的標準加熱系統允許它處理廣泛的材料，包括金屬、矽、氧化物、聚合物和陶瓷。6500的特點是13區反應堆，由液壓八角形晶室（直徑28.5厘米）和六個磁懸浮、平面外、均勻分布的提取通道組成。這種電磁設計使設備在選擇和定義蝕刻和灰化參數時具有很大的靈活性。13區反應堆使TEGAL 6500能夠達到總共18個可用加工區，而它在整個加工區內氣體流動的均勻分布，使得所有表面都有偶數蝕刻和灰化。6500的標準升力高度為20mm，超過了目前的行業標準。機器還具有廣泛的輔助選項。這些可以配置用於特定的應用，如反應性離子蝕刻，它們可以用來改進特定的蝕刻機制或優化工藝吞吐量。其中包括離子源、遠程等離子體源、等離子體熱點識別和補償工具以及高級沈積函數。離子源可用於實現像矽、氙合金這樣的材料的高保真度和垂直蝕刻。遠程等離子體源可用於實現高縱橫比結構的均勻蝕刻。等離子體熱點識別和補償資產是指用於檢測和抑制可能破壞表面特征的熱點的模型。高級沈積函數可用於創建導電層或絕緣金屬層。TEGAL 6500采用高級管理設備,通過其專用控制面板為其所有功能提供遠程訪問和實時監控。這樣可以增強系統的安全性和過程控制,以及方便的維護。所有相關的單元參數都可以從其集成庫中填充，並且具有保存和召回配方的附加功能，以便於重用。6500是一種極為方便和多用途的工具，為研發、原型制作和生產提供了廣泛的選擇。其先進的工藝管理，加上廣泛的選擇，使其非常適合實驗室和制造環境中的各種工藝。它種類繁多，價格合理，是各種工藝和應用的絕佳選擇。
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