二手 TEGAL 6540 #9267990 待售

TEGAL 6540是一種最先進的蝕刻器/asher,它在蝕刻和研磨過程中結合了速度和精度。采用多站設計，可定制6540，以滿足多種材料的蝕刻和灰化要求，包括碳化矽、氮化矽、硝基銨（NMO）和鎢。作為頂級型號,TEGAL 6540提供了比其他型號更高的蝕刻速率,從而實現了更快、更高效的蝕刻和灰化過程。6540還具有獨特的四區腔室布局，為蝕刻和粉刷提供了快速訪問。四區腔包括兩個等離子體區和兩個反應性氣體區。此外，TEGAL 6540可以調整為同時處理蝕刻和灰化。6540是一種全自動機器,具有獨特的多軸配置,可為各種曲面提供高的蝕刻和灰化率。TEGAL 6540的腔室分為四個區域，每個區域能夠產生不同的蝕刻和灰化效果。使用自動光學對準設備，6540可以針對蝕刻或灰化過程中的任何缺陷自動進行調整，提供高精度的結果。此外，TEGAL 6540還配備了一個自動清洗系統，利用各種清潔劑清除腔室和光學器件中的碎片和其他汙染物。清潔裝置還設有旋轉臂機，有助於減少清潔腔室所需的時間。總體而言,6540是一款尖端的蝕刻器/asher,它提供了一種可靠、高效和精確的工具,用於蝕刻和研磨各種材料。憑借其最先進的設計，TEGAL 6540是廣泛蝕刻和灰化應用的理想選擇。