二手 TEGAL 701-03 #9097594 待售

ID: 9097594
晶圓大小: 3"
Plasma etcher, 3".
TEGAL 701-03是一種先進的水基蝕刻器/asher,設計用於蝕刻/ashessilicon晶片和薄膜。它是一種可靠、經濟高效的解決方案,可用於微電子行業的多種應用。701-03采用獨特的冷室設計,能夠處理高達0.25um/秒的濕蝕刻速度和高達10um/秒的灰化速度。可調速度控制器確保用戶可以手動調整蝕刻/灰化速度,以獲得優化的結果。它還具有智能過程控制等先進技術。此技術可精確監控蝕刻/灰化工藝參數,如溫度、壓力和流速,以確保產品質量一致。它還配備了自動化的安全功能,以防止事故和損壞用戶和晶圓。TEGAL 701-03緊湊高效。它的設計采用有效的蒸汽控制系統,防止酸性煙霧和腐蝕性氣體從室內逸出。它還配置為便於與其他系統(如秤、接收器和排氣系統)集成。701-03型環保,由耐腐蝕材料制成。Asher也可以與包括氫氟酸和硝酸在內的各種化學物質結合使用。蝕刻器/asher也與所有類型的坦克和噴槍兼容,可以很容易地配置為定制。歸根結底,TEGAL 701-03是一個蝕刻器/asher的最佳選擇,當精度和準確性是強制性的。由於其緊湊的設計、可靠的技術和先進的功能,它有助於降低成本、提高運營效率,並提供卓越的性能。
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