二手 TEGAL 701 #293621568 待售

TEGAL 701是由TEGAL Reliability Engineering製造的蝕刻器和asher。它是為半導體和其他小型電子元件的精密蝕刻和灰化而設計的。701是一種先進的儀器,提供自動化、高通量、連續加載、可編程以及對蝕刻和灰化過程的精確控制。內置微處理器提供軟件可編程邏輯、用戶定義的輪廓溫度範圍和脈沖參數以及斜坡和停留時間。蝕刻器/灰燼可以配置2個加熱站至6個溫度範圍和9個可編程配方，允許對每個蝕刻/灰燼工藝進行定制的剖析和微調。它配有兩個石英鎢鹵素（QTH）燈加熱元件和一個可測量溫度方差為+/-0.5 °C的精確溫度控制機構。TEGAL 701具有人體工程學設計，操作方便，采用7英寸彩色液晶觸摸屏，帶有直觀、用戶友好的GUI。用戶還可以訪問全面的數據記錄和錯誤報告。此外,還可以通過RS-232端口遠程配置所有進程參數和設置。蝕刻器/灰化器具有先進的安全系統,其特點是在過程失敗時具有自動氣體關閉系統和氧氣傳感器,在蝕刻/灰燼缺陷之前由於氧氣含量低而發出警告。701還包括各種其他功能,如自動卸下蒙版、基板映射和備件選項卡。總之，TEGAL 701是一種可靠的蝕刻器和灰化器，為半導體和其他小型電子元件的高效蝕刻和灰化提供了一整套功能，為蝕刻性能設定了高標準。其人性化的GUI、精確的溫度控制、自動化的氣體關閉系統以及全面的安全功能，使其成為蝕刻和灰化精密、精密元件的絕佳選擇。