二手 TEGAL 701 #293621577 待售

TEGAL 701
ID: 293621577
Plasma in-line etchers.
TEGAL 701是一種先進的自動蝕刻和灰化儀器,制造商用來經濟高效地蝕刻和灰分基板。它由蝕刻/灰燼室、高頻發電機、壓力控制器和計算機控制的可編程系統組成。蝕刻/灰室容納基板,並配有自動輸送機。它有八個鑰匙操作的自動門鎖,並提供操作員保護。它還確保在蝕刻/灰燼操作過程中正確的大氣和工藝參數。高頻發電機允許蝕刻器/asher在DC或RF功率和過程下運行,能夠根據精確的參數和適當的條件進行調整以達到最佳效果。701配備了可定制的電壓切換功能,允許精確控制電流和電壓輸出壓力控制器允許精確監測和控制壓力,允許精確控制蝕刻/灰燼速率和處理時間,同時還有助於防止過度蝕刻和損壞基板。同時,計算機控制的可編程系統是一個用戶友好的界面,用戶可以快速輕松地選擇所需的蝕刻/灰分參數,跟蹤過程並報告結果。TEGAL 701通過其操作員可調節的數字觸摸屏顯示屏和速度控制,還能夠對溫度、壓力和蝕刻/灰分循環進行精確調整。701 蝕刻器/asher也非常節能。它只使用少量的反應性氣體和能量,使其成為處理各類基材的經濟上有吸引力的加工解決方案。它還配備了監護人安全監控系統,實時監控、記錄和報警過程。TEGAL 701通過其高效、精確和可靠的在線蝕刻和灰化,提供了先進的自動蝕刻和灰化解決方案,以滿足各行業制造商的需求。
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