二手 TEGAL 701 #9000653 待售

TEGAL 701是一種用於高分辨率微電子的蝕刻器/asher。它是從半導體基板上去除不需要的材料的強大工具，經常被用來蝕刻細小的花紋，邊緣細膩而精確。該設備利用高功率激光源產生聚焦光束，然後將其定向到基板上。這種光束用於將化合物沈積在基板上，然後將材料汽化，以產生小孔，或微蝕刻圖樣。701有一個光學臺，設計用來容納大型基板，長度可達1200毫米。它可以蝕刻到0.3 μ米的分辨率，允許精確控制蝕刻過程。這臺機器是完全自動化的,它允許快速,高度可靠的蝕刻和灰化過程.它還具有一個溫度控制的工藝室，有助於在整個循環中保持一個均勻的溫度，從而確保蝕刻工藝的更好的可重復性。它還提供了一個自動對焦選項，可以快速、方便地掃描基板。該系統還設有一個電弧監控單元，用於測量蝕刻周期開始和結束時的跟蹤電壓弧。這樣可以確保基材不會過度蝕刻,從而降低損壞的風險。機器還允許進行深入的過程後分析，為用戶提供蝕刻過程的詳細信息。該工具還包括TEGAL 701的內部軟件，可用於監控和控制過程。這包括參數的自動調整，允許用戶微調他們的蝕刻過程。此外,它還提供診斷功能,允許用戶快速有效地識別和解決問題。701 蝕刻器/asher設計用於研發部門。它非常適合在各種行業（如電子、醫療和汽車制造）中按照嚴格的標準生產蝕刻特征。它具有高精度蝕刻功能和自動化過程控制,是創建復雜、高質量零件的寶貴工具。