二手 TEGAL 701 #9000660 待售

TEGAL 701
ID: 9000660
Plasma in-line etcher, 4" In-operable.
TEGAL 701是一種為矽和復合半導體晶片的精密處理而設計的蝕刻器/aser。它具有先進的蝕刻功能,適用於各種應用,從精確的表面結構到定制設備的處理和制造。701是完全自動化的,具有多種模式選擇,允許用戶根據設備的確切要求定制蝕刻。其內置的氣體輸送設備可以精確、精確地計量加工氣體,從而獲得最大的蝕刻精度。該機組的源功率為1600W和等離子體壓力高達1.2 Pa (9 mTorr),處理氣體包括氟氣、氯氣、氧氣和硫化氫。系統裝有一個手動調節的工件平臺,允許用戶移動和定位晶片,而不必從蝕刻機中取出。其簡單的用戶界面為溫度敏感過程提供了簡單的操作和精確的溫度控制。這使得TEGAL 701成為可靠準確蝕刻的理想選擇。除了蝕刻能力外,701還具有內置的自動壓力控制單元,使得真空操作的準確性更高。一個自動化的晶圓處理機器允許方便精確晶圓和模具定位過程。蝕刻器還配備了先進的溫度傳感器,可在蝕刻過程中精確監控所有溫度。該工具還設計用於低顆粒計數操作,確保清潔和無汙染的環境。TEGAL 701的軟件接口可以方便地設置和操作,並且可以輕松設置所有必要的蝕刻參數,包括功率、壓力和流量。該裝置還配備了一個真空量表,用於在蝕刻時監測真空水平。總體而言,701是一款功能強大且可靠的蝕刻器,專為在各種處理任務中精確使用而設計。憑借先進的蝕刻能力、簡單的操作和內置的溫度和壓力監控,該資產非常適合任何需要對矽和復合半導體晶片進行精密蝕刻的情況。
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