二手 TEGAL 803 #201078 待售

TEGAL 803是一種高級蝕刻器/asher,專為各種專門的過程而設計。這個專門的蝕刻平臺非常適合多種工藝，包括但不限於復雜結構的濕蝕刻、氧化物蝕刻、高長寬比光子和等離子體微結構以及幹蝕刻。這種技術先進的設備可通過TEGAL Corporation獲得,TEGAL Corporation是全球領先的定制蝕刻和asher系統供應商。803具有垂直腔室設計，可以加工直徑達8英寸的基板。該系統配備獨特的蝕刻向導II控制單元，對蝕刻和排放過程提供簡單直觀的控制。Etch Wizard II還允許用戶與機器進行遠程交互，使操作和維護變得更加容易和方便。TEGAL 803還提供了另外兩個控制系統-觸摸向導和數字蝕刻選擇器（DES）。DES控制工具允許用戶精確控制他們的蝕刻過程參數，如壓力、時間和功率。803還提供了廣泛的功能，旨在最大限度地提高蝕刻和排放過程。該資產能夠根據所需的工藝參數支持冷熱基板加工。此外，它還能夠支持廣泛的蝕刻氣體和蝕刻化學方法，包括氧化物和金屬材料的濕蝕刻配方。排放過程也是可調整的，允許用戶定制其排放概況以優化其過程。TEGAL 803還擁有先進的安全功能。最值得註意的是，該模型配備了TEGAL屏蔽泄漏檢測設備，其設計目的是快速準確地檢測在蝕刻過程中可能構成危險的任何有害氣體。此外，該系統還配備了各種惰性系統，旨在進一步防止任何潛在的氣體泄漏。803是一個先進的蝕刻平臺，能夠快速準確地蝕刻各種復雜的結構。這個先進的蝕刻平臺得到各種直觀精確的控制系統的支持，以及增強的安全功能。TEGAL 803具有獨特的設計、先進的功能和可靠的性能,是專業蝕刻工藝的理想選擇。