二手 TEGAL 803 #9180201 待售

TEGAL 803是一款由TEGAL Devices, Inc.在80年代開發的蝕刻器和asher。它被設計用於集成電路的開發，包括生產各級金屬和電介質生產，用於小型薄電子元件。803是一種高性能蝕刻器和粉碎機，用於形成薄膜金屬和介電結構。它采用了最先進的組件，包括面板安裝的數字顯示屏和強大的蝕刻器和asher引擎。TEGAL 803具有多種功能,旨在使用戶能夠精確規劃和執行流程。灰化率可控制在0.1瓦至5.0瓦之間,增量為0.01,等離子體蝕刻率可設置在0.3瓦至5.0瓦之間,增量為0.01。它還有一個先進的電源，可以支持一系列的等離子動力技術，包括腳趾壓力、壓力支持和氣泡蝕刻。其用戶友好的面板使集成電路設計者和工程師能夠快速、輕松地輸入和調整參數，如壓力、功率和工藝序列。803配備了廣泛的材料和組件，包括高精度差壓控制子系統，允許用戶控制過程軌跡的傾斜控制功能，以及專用的多氣體供應和凈化系統。該系統的控制器集成到面板中，可以對薄膜結構進行精確和可重復的蝕刻。TEGAL 803還采用了一種索引式多口袋線級沈積技術,提供強大的i線和DUV掩碼成像功能。803設計得非常可靠和一致。其先進的ISO 9000認證自動排序和自動跟蹤功能使用戶能夠快速開發具有精確均勻密度分布的薄膜結構。其堅固的金屬沈積特性可達到小於2微米的厚度和窄至1微米的特征寬度。此外，其先進的ECR（電子回旋共振）處理對於復雜的蝕刻結構可以實現更快的蝕刻速率和更好的邊緣收斂。簡而言之，TEGAL 803是一款功能強大、可靠的蝕刻器和asher，旨在幫助集成電路工程師快速準確地開發薄膜金屬和介電結構。它具有先進的數字顯示和蝕刻/asher引擎，工藝參數的精確控制，以及材料和部件的可靠選擇。803憑借其高性能功能和經ISO 9000認證的自動排序和自動跟蹤,為用戶提供了可靠的結果,有助於薄膜微量電子元件的開發。