二手 TEGAL 803 #9260044 待售

TEGAL 803蝕刻器是為大批量工業應用而設計的多工藝蝕刻設備。其高效率和低成本使其成為各種任務的有吸引力的選擇。803是一種全自動單室工藝蝕刻器，真空室容量為8.4升，工作壓力高達0.1tor。它配備了射頻偏置電源以及用於不同蝕刻過程的微波電源。它還有兩塊石英蝕刻板，一個等離子體產生裝置和一個電阻材料源。該系統還包括一個特殊用途的高精度電腦化模具連接單元，用於在將基板引入腔室之前將射頻發生器和偏置電源精確固定在蝕刻板上。電腦化模具連接機便於精確和可重復的蝕刻工藝條件，並在放置在腔內的所有晶片上提供均勻性。TEGAL 803精確、可重復的工藝控制使得它非常適合生產高品質的小線圖案基板。它可以蝕刻厚度達200 µm的基板，最小蝕刻間距為20 µm。腔室溫度可設定為最高400 °C。該工具還配備了一個高速計算機化的單片裝載機，能夠將每分鐘多達4個晶片裝入資產。該模型的處理器還包含晶圓確認算法，以確保蝕刻過程的重復性最大化，以及一致的過程晶圓到晶圓。803的機載診斷套件通過監控設備狀態和呈現警報管理功能,進一步提高了操作效率。通過讀取系統參數、工藝條件等單位值，往往可以診斷出問題，引導用戶采取糾正措施。此外，TEGAL 803包括一臺有源預沈積機，設計用於制備晶圓表面，以最大限度地提高蝕刻均勻性和精度。其他功能包括自動清理工具,以優化資產性能和減少停機時間。803設計為在工業、小型或研究應用中提供可靠性和一致的高質量蝕刻。其先進的特點和高效的操作使其成為耐用和高性能蝕刻的理想選擇。