二手 TEGAL 900ACS #293635732 待售

TEGAL 900ACS是一種用於基板加工的蝕刻器/灰化器,在各種半導體和非半導體材料中具有優異的蝕刻/灰分性能。此蝕刻器/asher利用TEGAL獨特的RF/DC電源傳輸技術,實現高吞吐量和準確的過程結果。900ACS提供了幾個選項,允許用戶自定義其蝕刻/ashing過程並提高產量。蝕刻器/灰化器采用三個步驟：預清潔、蝕刻/灰分和後清潔。在預清潔步驟中，用戶可以選擇使用機械泵將腔室抽出，然後用清潔氣體（通常是氮氣等惰性氣體）填充腔室，以幫助減少顆粒進入腔室。這個步驟可以選擇包括其他清潔技術，如射頻等離子體清洗。第二步是蝕刻/灰場景。用戶可以使用RF或DC電源自定義過程,具體取決於所處理的材料。用戶還可以調整功率水平、壓力和氣流,以實現所需的蝕刻/灰分深度。當蝕刻/灰分過程發生時，廢氣會從TEGAL 900ACS室排出，以防止晶圓受到汙染。第三個也是最後一個步驟是後清潔過程。對於這一步驟，腔室要麼機械抽出，要麼充滿清潔氣體，以幫助減少顆粒進入腔室。然後通過濕洗或幹洗除去剩余的蝕刻/灰分殘留物。900ACS在多種材料中具有優異的蝕刻/灰分性能,非常適合廣泛的應用。其先進的RF/DC電源輸送技術和可定制的設置確保了準確和可重復的過程,並且其預清潔、蝕刻/灰燼和後清潔循環允許有效清除殘留物。