二手 TEGAL 900e #293811528 待售

TEGAL 900 e是由TEGAL Corp.開發的一種蝕刻器（通常稱為asher）。該設備設計用於各種半導體和電子材料的高通量、經濟高效的蝕刻。該系統可提供高蝕刻速率、線隙寬度控制以及滿足現代電路設計要求的表面光潔度。TEGAL 900 E是一個完全自動化的單元,可以處理蝕刻過程的各個方面。它包括實時溫度、流量、壓力和濃度控制系統，使機器能夠高度準確、一致和高效。該工具采用基於等離子體的快速低壓技術,可產生深度可達10,000 nm的蝕刻。該技術還消除了去除邊緣珠的需要,並提供了卓越的蝕刻均勻性、線條邊緣粗糙度和通道底部損壞控制。900e還具有多端口氣體註入資產,利用獨特的氣體組合進一步增強蝕刻工藝。該模型允許用戶選擇蝕刻工藝的最佳氣體類型，從而產生優越的蝕刻效果。該設備設計易於使用和維護。它具有直觀的設計,簡化了設置和過程控制,無需復雜的用戶手冊和過程。該系統還配備了高級診斷工具,可用於快速識別和糾正任何問題。最後，該單元還附帶了一套軟件，允許用戶為各種蝕刻應用程序創建和修改工藝配方。總體而言,900 E是一種高級蝕刻器（或asher）,可為用戶提供高效、準確且經濟實惠的蝕刻解決方案。它具有獨特的先進技術組合,可提供卓越的蝕刻效果,同時相對易於使用和維護。