二手 TEGAL 900e #84748 待售

TEGAL 900e是由TEGAL Corporation設計的高精度、多合一蝕刻器和asher。它可以直接使用蝕刻和灰化工藝,非常適合工業使用。TEGAL 900 E是一個獨立的真空系統,能夠在高達500瓦的功率下進行蝕刻和灰化。其蝕刻盤可容納直徑可達400mm、厚度可達25mm的基板。通過完整的PID溫度控制和計時器設置,可以通過液晶屏進行配置,從而實現精確的分析,從而精確控制蝕刻過程。提供了一個可選的寒板,以進一步改進溫度控制。900e還提供6種標準蝕刻配方，按下按鈕即可加載並執行。這些配方針對900 E流程進行了優化,確保設置準確且可重復。蝕刻盤還可配備線性運動級，用於加法控制或自動清洗或其他工藝。TEGAL 900e也用作asher。Asher托盤的最大直徑容量為500 mm,帶有可選的適配器和托盤,可增加容量。集成氣體反呼氣裝置允許精確的氣體交換控制，並對溫度進行監測和控制，以確保排放的準確性。TEGAL 900 E是一款可靠、功能強大的蝕刻器和asher,可輕松滿足任何應用程序的要求。憑借直觀的控制和智能的特性,它是工業用途的絕佳選擇。