二手 TEGAL 900e #9121969 待售
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TEGAL 900 e是一種創新的蝕刻器/asher設備,旨在實現各種材料的精確、精確蝕刻或粉刷。TEGAL 900 E采用先進的靈活技術,為從簡單的單層到復雜的硬掩碼和金屬結構的應用提供了極致的準確性和靈活性。900e配備了創新的超等離子體發生器（UPG）,該發生器具有先進的射頻光敏曝光源,在10-13.56MHz範圍內提供高達22kW的高效功率,並與控制等離子體生成的控制電子設備相匹配。這允許傳統蝕刻和灰化/沈積。該系統包括創新的自動化過程，如均勻性工程、基於算法的優化和故障檢測技術，以確保最佳蝕刻和灰化結果。可以指定各種氣體混合物和壓力水平，以適應不同的材料加工需求。900 E單元具有集成的加載/鎖定機制,可快速方便地裝卸零件。它還包括一個模塊化的可配置快門機，帶有獨立的機械窗簾，在操作過程中可以用來將腔室與開放的大氣層隔離。此快門工具可確保安全,並使資產完全自動化。該型號配有控制面板，包括7英寸顯示屏，便於設備監控。此外,TEGAL 900 e還提供站點級控制器集成、對程序參數的外部訪問以及實時數據記錄功能。TEGAL 900 E是生產復雜設備結構的強大工具,可提供各種應用所需的準確性、可重復性和吞吐量。是生產半導體、醫療等行業優質零件的性價比解決方案。
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