二手 TEGAL 901 / 903 #9285865 待售

TEGAL 901/903 Asher/Etcher是最強大、用途最廣泛的蝕刻/蝕刻系統之一。它通過幹蝕刻和濕蝕刻工藝提供超高吞吐量。該設備由於具有高功率的工藝室、高功率的射頻發生器和機器人晶片處理系統，能夠對3「和4」晶片進行高速蝕刻/灰化。該單元的加工室由不銹鋼制成，帶有耐熱陶瓷襯裏。腔室內部是由高功率射頻發生器供電的蝕刻/灰化電極組件。這允許根據客戶的特定應用程序定制蝕刻/灰化參數。氣體進料機確保快速、高效地清除加工室內的氣體副產物。晶圓處理工具能夠以高達200 mm/秒的進給速率同時處理多達五個晶圓。它還允許在各種晶圓尺寸上提高均勻性,精度為0。²mm。機器人機制為晶圓處理資產提供了最低的總擁有成本,並為生產質量提供了最大的可用性。晶片放置在晶片支架上，該晶片支架從負載站氣動移動到卸載站。可選擇的蝕刻速率和高通量由可靠的兩級耗電模型提供，該模型通過壓力泵提供均勻的氣體分配。單色等離子體發生器提供離子能量和溫度的精確控制，這是蝕刻和灰化過程的重要參數。這樣可以最大程度地控制蝕刻和灰化配置文件,從而提供最高吞吐量和最高質量的晶片。901/903 Asher/Etcher的設計考慮了安全性、維護和可靠性。它結合了一系列防火墻和火花抑制系統，以確保運行和維護過程中的安全。它還擁有高效的冷卻設備以及完整的備件和部件列表,以保證長期的可靠性和性能。綜上所述，TEGAL 901/903 Asher/Etcher是一種高效可靠的蝕刻/灰化系統，提供最大控制和超高產量。它是使用各種晶圓尺寸的理想選擇，而且非常可靠和安全。