二手 TEGAL 901 #293594519 待售

TEGAL 901是一種蝕刻器或asher,是多層加工作業的理想工具。它是一種高端工具,使用戶能夠在各種基板中創建復雜的蝕刻和灰化層,並進行精確控制。對於微電子、半導體和其他精確控制至關重要的應用來說，這種蝕刻器/asher是一種理想的選擇。901配備高分辨率光學觀賞設備，可精確觀賞圖層。該系統包括一個可調焦點，可調曝光時間和可調停留時間的蝕刻和灰化過程。它還附帶了廣泛的可編程參數，為用戶提供更精確的結果。該蝕刻器/asher設計用於真空室環境，並提供高速、精密的蝕刻和灰化工藝。TEGAL 901也非常適合反應性離子蝕刻和離子銑削工藝。它還與氣體、蒸汽、等離子體和旋轉射流等各種類型的蝕刻/灰分介質兼容。此蝕刻器/asher利用鋁合金腔室實現無與倫比的性能。它提供了超光滑的光潔度，是阻燃和耐高溫磨損。該單元配有自動化的負載鎖單元，並配有加熱/冷卻機，以確保高精度的蝕刻和灰化。它還利用先進的離子源/等離子源技術來實現更好的灰化和蝕刻。901是最先進的蝕刻器/灰化器,是微電子制造、半導體制造等高精度蝕刻和灰化行業的理想選擇。它是控制蝕刻和灰化過程同時保持最高精度的最強大和可靠的工具。