二手 TEGAL 901 #293624765 待售

TEGAL 901是一種有機蝕刻器/asher機器,專為需要對設備制造的有機層進行高精度蝕刻的應用而設計。該機既能蝕刻又能灰化，使用先進的計算機控制位置掃描系統。901利用蝕刻室和asher室兩種腔室，各有多種功能和能力。蝕刻室是一個標準的蝕刻單元，采用最新的集成技術，設計以滿足廣泛的設備制造需求。它使用10到150V在幾百到幾千Torr的氣體壓力和0.1到4.0 SCCM的化學流速下運行。該腔室具有兩個電極和一個直流或射頻電源，用於均勻和一致的蝕刻。它還提供了工藝參數的實時顯示，使用戶能夠準確監控蝕刻條件，從而獲得最大的工藝保真度。第二個腔室，asher腔室，設計用於幹蝕刻過程。它采用先進的F1- Chem™反應性離子蝕刻（RIE）氣體化學系統，既能蝕刻又能灰化。其操作可調節，在不同的壓力、溫度和功率水平下運行，允許最大程度的工藝靈活性。該腔室具有一個大的F1-Scan處理單元,掃描區域在x軸和y軸上均可調節,以便靈活處理樣品。它能夠產生卓越的精確度和快速的樣品處理時間。TEGAL 901是有機蝕刻和灰化應用的絕佳選擇。它旨在提供優異的產量、降低的操作成本以及超高精度蝕刻能力。其強大的嵌入式軟件提供高速控制和數據集成,非常適合設備制造。它為要求苛刻的蝕刻和灰化應用程序提供了一系列有用的功能和強大的性能。