二手 TEGAL 901 #293655088 待售
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TEGAL 901是一種高精度蝕刻/灰燼設備,設計用於在蝕刻/灰化表面（如MEMS制造中使用的表面）上產生所需的圖樣。該系統具有處理從晶片到基板或芯片級設備的大小不等的樣品的能力。901采用熱蝕刻技術和等離子體蝕刻技術相結合,按照嚴格的標準準確、幹凈地制作所需的圖樣。TEGAL 901具有兩個階段的過程,首先是蝕刻步驟,然後是ashing步驟。在蝕刻過程中，用加熱氣體蝕刻樣品表面。熱蝕刻過程由於氣體分子的運動和化學反應而導致表面材料的精確去除。蝕刻步驟完成後，單位再使用等離子體灰燼完全去除樣品上的任何殘留物質。901利用高端控制面板調節監測溫度、壓力、氣體流量等參數。它還具有編程特定蝕刻模式的功能。這允許用戶在樣本表面上精確復制圖像或圖樣。這臺機器是為一段時間後可重復和可靠的結果而設計的。為確保質量,制造商提供了各種故障保險箱,這些保險箱可在發生意外事件時關閉該工具。它還能夠使用最新的軟件修補程序進行更新,以獲得最佳性能。最後,資產維護過去蝕刻事件的內部日誌,以及可追蹤性和文檔的結果。總之，TEGAL 901 蝕刻/Ashe模型是在晶片和芯片級元件上產生精確模式的可靠而有力的工具。其復雜的控制、監控和編程功能可實現可重復的結果和可靠的性能。此外，設備先進的安全措施保證了蝕刻產品的質量。
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