二手 TEGAL 901 #293752942 待售

TEGAL 901是一款為高端半導體器件制造而設計的精確、高效、可靠的蝕刻器/asher。它擁有許多高級特性和功能,使其成為最強大的蝕刻器/分類器之一。適用於氧化物層蝕刻、光致抗蝕劑灰化、氧化物沈積等應用。901利用高精度的150 mm x 150 mm工藝面積獲得最大產量,可選擇的空間分辨率從3.5微米到10微米不等。它還提供了精確的溫度控制系統，可以將工藝窗口從200 °C精細調整到950 °C。這樣可確保在整個制造過程中保持最佳蝕刻或灰化條件。TEGAL 901還具有先進的自動化和控制功能,能夠同時操作多達四個盒式裝載機和多達十二個旋轉盒式磁帶。這允許同時處理多達十二個晶圓。此外,易於使用的用戶界面為用戶提供了對過程的完全控制。這包括能夠準確監控和調整流程參數、設置報警和檢測刀具性能漂移。901的效率也很高,能耗比標準工業系統低85%,每小時產生的晶圓也高50%。這有助於降低能源消耗和制造成本。此外，先進的環境緩解系統確保危險氣體和微粒殘留物保持在安全水平，確保安全和高效的作業。TEGAL 901是為高端半導體器件制造而設計的高效、功能強大、可靠的蝕刻器/asher。901具有先進的特點和功能,提供高性能和高精度的最佳產量.