二手 TEGAL 901 #9071953 待售

TEGAL 901是一種真空蒸發塗層/蝕刻器/asher。它是一種用於薄膜蒸發塗層的自動、高溫、高精度儀器。由TEGAL Corporation制造，901利用其專利來源技術進行廣域均勻塗層。它具有單一的來源來滿足所有沈積需要，允許沈積各種材料，包括金屬、絕緣體和薄膜。TEGAL 901是薄膜生產的最新工具，提供高精度、高均勻性的優點。其獨特設計的腔室設有旋轉平臺，允許薄膜在大面積上均勻均勻沈積。這種自主裝置可用於存放具有廣泛應用的高性能薄膜。該儀器由先進的部件和模塊組成，如真空室、不銹鋼熔爐和具有導熱表面的主體。其他組件包括自動控制系統、沈積監測器和精確的真空計。901還具有超輕、占地面積較小的特點,可與其他實驗室設備一起定位,並可進行一人異地操作。TEGAL 901配備了強大的Vacuum N2擴散泵，提供高達10-6 Torr的低背景壓力。先進的集成過程控制系統可確保一致和準確的過程性能。這個精確的系統包括機械臂、扳機和監視點，以及先進的可視化工具。另外，內置沈積控制程序是為薄膜沈積而預先配置的，如：鋁、鈦、矽等材料類型。901采用集成設計,可實現多種基板的精確可靠塗層。其薄膜沈積能力具有高度的均勻性和可重復性，非常適合精密制造或研究目的。TEGAL 901提供了多種沈積速度,以確保足夠的處理時間,而其用戶友好、直觀的軟件允許輕松設置參數,例如；溫度、循環時間和真空水平。此外,其符合人體工程學設計的功能可以安全、高效地處理和操作。總而言之，901是一種高效、易用且配置性強的蒸發塗料，提供出色、均勻的薄膜沈積效果。TEGAL 901具有廣泛的沈積材料、集成的過程控制和人體工程學設計,滿足了可靠和成功的薄膜生產或研究項目的所有要求。