二手 TEGAL 901 #9113439 待售

TEGAL 901是由TEGAL Corporation開發的一款緊湊、高性能的蝕刻/asher設備。此asher/etcher用於實現高均勻性基板的高分辨率陣列。901提供精確的蝕刻和灰化過程,需要非常準確、可重復的結果。它使用了廣泛的蝕刻和灰化化學方法，以確保在蝕刻和灰化過程中的均勻性。它利用專有的過程控制算法進行精確的過程控制。該系統使用專有的高溫倦怠算法來實現統一的倦怠，從而消除不需要的側壁汙染。TEGAL 901還具有高分辨率的光學圖樣繪制功能,以確保蝕刻和灰化過程盡可能高的精度和準確性。901配備了先進的控制面板，使整個蝕刻和ashing過程用戶友好高效。它使用觸摸屏界面在過程中控制、監視和配置設備參數。此面板增強了可見性,使整個過程更易於監視和控制。此外,asher/etcher還包括一些內置的安全和監控功能,可確保過程的可靠性和高質量的結果。TEGAL 901專為高性能、低成本的操作而設計。它具有較高的吞吐量和最小的維護能力,確保最大的資源利用率。機器產生高質量，可重復，脆，均勻的模式，具有卓越的晶圓產率。此外，它還提供各種晶圓構型和基材材料兼容性，包括鋁、多晶矽、摻雜矽、二氧化矽、氧化鋁、砷化​​氙和SiGe材料。901具有高溫操作,允許高速蝕刻和灰化以及提高產量。它還結合了一個先進的倦怠算法，以消除冷卻階段的需要，使蝕刻器/asher更節能。TEGAL 901除了高效運行外，設計小巧健壯，支持多種安全特性，非常適合工業應用。