二手 TEGAL 901 #9226736 待售

TEGAL 901是一款高級蝕刻器/asher,具有完全可定制的平臺,可實現精確的材料處理。901能夠以市場上最熱的溫度和最高的長期沈積速率進行操作,因此能夠對多種材料的單層和多層組件進行有效的保護和機械隔離。這種最先進的蝕刻器/asher采用最新技術,包括數碼相機系統和安全的離線控制面板。它還包括一系列工藝優化選項，允許精細的蝕刻和灰化品種精確控制時間、溫度、壓力和氧氣水平。TEGAL 901利用一種特殊的無氫氯化物氣體進行蝕刻和壓力控制裝置，在灰化過程中將氧氣水平保持在所需的範圍內。901還有一個獨立的室內加熱系統，允許在不同溫度下自動處理物料堆棧，不需要額外的外套加熱高度。此外,該單元具有獨特的溫度穩定系統,因此,盡管材料溫度變化很大,但溫度仍保持穩定,從而能夠更有效地進行蝕刻,防止過程中的變化。除上述之外，TEGAL 901在沖擊和存儲過程中還具有控制沖擊波的能力。此外,它還包含480 nm激光束,用於定制蝕刻和灰化操作,以滿足任何材料和工藝要求。此外，該裝置還配備了先進的雙氧化物離子植入技術，用於金屬、電介質和其他材料的高精度沈積。總而言之,901是一款功能強大且用途廣泛的蝕刻器/石膏,可提供市場上最高的長期沈積速率和最先進、最準確的材料加工功能。它是滿足各種蝕刻和灰化需求的理想工具,能夠適應幾乎任何工藝和材料規範。