二手 TEGAL 901 #9226737 待售

TEGAL 901是一種高度先進的半導體蝕刻設備，其設計目的是提供可靠的高精度結果和優越的質量。901用於集成電路的生產,非常適合先進的研究實驗室以及半導體和IC制造過程。TEGAL 901是一個單系統蝕刻單元，能夠進行廣泛的蝕刻任務，包括金屬蝕刻、深蝕刻、MEMS蝕刻等等。它具有先進的控制系統和先進的晶圓處理技術，可以優化工藝，並在不犧牲質量的情況下提供完美的效果。901具有200毫米垂直蝕刻室和6向鏡。這種設計允許在整個晶片上進行統一的蝕刻過程，而6向鏡則允許更精確的蝕刻。此外,TEGAL 901還具有多目標功能,旨在最大程度地提高蝕刻效率和吞吐量。901還具有高級晶圓處理功能。它為200毫米晶圓提供全自動加載、卸載、傳輸和拒絕管理。這樣可以確保一致和高精度的結果,而不會出現延遲。其先進的晶片處理機還包括一個多位置真空臂，用於精確的自動晶片裝卸。TEGAL 901專為復雜的IC制造而設計,其復雜的軟件和硬件提供了先進的晶圓處理選項。它的軟件工具具有多任務編程和監控功能,使用戶能夠輕松編程和監控其流程以獲得準確的結果。其高級軟件還包括針對復雜流程的自動配方選擇，允許用戶從一系列配方中進行選擇，減少手動操作的需求。901是確保可靠準確結果的卓越蝕刻資產，是IC制造和先進研發的理想選擇。其先進的設計和功能使用戶能夠獲得最高精度的蝕刻結果並最大限度地提高吞吐量。