二手 TEGAL 901 #9250120 待售

TEGAL 901是在半導體生產中主要用於工藝控制和晶圓制造的一種先進的蝕刻器/asher。利用高精度電子束系統將材料光化學沈積到基板表面。基板一般是半導體晶圓，但也可以是玻璃或聚合物基板。901提供準確、可重復的過程控制，實時監控基板水平。用戶可以自定義流程設置以滿足特定要求。蝕刻/詢問過程是一種蝕刻過程，利用電子束引起改變底物表面的化學反應。電子束然後充當設計的「掩蔽」劑，使蝕刻過程在確定的設計上準確進行。TEGAL 901的電子束可以微調至基材和工藝設置，以提供精確的工藝控制。此外,此蝕刻器/asher還具有均勻性控制功能,可計算功率、位置和光束長度。這樣可以確保蝕刻過程以一致的速率和特定的基板水平進行。901還具有多種其他高級功能,例如高級溫度控制和熱變化分析。此功能有助於保護表面免受熱損壞,並確保整個基板的溫度均勻。TEGAL 901還設計用於提高蝕刻工藝的速度和精度。它使用強大的電動機，速度高達25 m/s。與手動方法相比，這種速度最小化了沈積時間，並最大限度地提高了精度和可重復性。總體而言，901是一種堅固可靠的蝕刻器/asher，專為半導體生產過程控制和晶圓制造而設計。它具有高級功能,可提高蝕刻過程的速度和準確性,並提供增強的過程控制。此蝕刻器/asher設計用於減少均勻性誤差和減少熱變化。TEGAL 901是一種適用於各種流程的通用解決方案。